进口超高纯净气体减压器

德国莱克阀门中国总代理(http://www.maoyihang.com/invest/)-germany lik valves international

进口超高纯净气体减压器适用于超高纯净气体应用，采用内部无螺纹、非焊接膜片结构。膜片和阀体的密封产用了硬密封的设计，降低泄漏率，同时提高了安全性和使用寿命。

特点

进口超高纯净气体减压器结构特点 

膜片式硬密封，泄漏率低

可采用面板安装和后座安装

压力表标准连接：1/4" FSR(M)
可选：1/4" FSR(F)

内部电解抛光

高清洁的组装和包装(http://www.maoyihang.com/sell/l_12/)可适用于高纯洁度的半导体产业

使用寿命长

经氦气测试 
进口超高纯净气体减压器材质

母体：316L , Hastelloy®

阀座：PCTFE

膜片：Elgiloy®,  Hastelloy®

上盖：316, Hastelloy®
功能特性

流量：Cv=0.054

母体泄漏率：2×10-8 atm cc/sec He

阀座泄漏率：4×10-8 atm cc/sec He

设计验证压力：最大额定压力的150%

设计压力：最大额定压力的400% 

进口超高纯净气体减压器工作条件

最大入口压力：300 psi (20 bar),

出口压力：0-30 psi (2 bar)

温度：-18°C~ 60°C ( -0°F~140°F)

流 道 表 面

标准：Ra 20 μin

可选：Ra 10 μin

内 部 容 积

9.3 cc